Физико-технологические основы создания градиентно-слоистых поверхностей многокомпонентного состава совмещением методов ионно-диффузионного насыщения, магнетронного и вакуумно-дугового осаждения

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Физико-технологические основы создания градиентно-слоистых поверхностей многокомпонентного состава совмещением методов ионно-диффузионного насыщения, магнетронного и вакуумно-дугового осаждения	1 MB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

#градиентно-слоистые покрытия

#ионно-диффузионное насыщение

#магнетронное и вакуумно-дуговое осаждения

Title: Физико-технологические основы создания градиентно-слоистых поверхностей многокомпонентного состава совмещением методов ионно-диффузионного насыщения, магнетронного и вакуумно-дугового осаждения
Creator: Савостиков, Виктор Михайлович
|
Потекаев, Александр Иванович
|
Табаченко, Анатолий Никитович
Date: 2011
Description: На базе созданного оригинального технологического комплекса разработан технологический комбинированный процесс формирования градиентно-слоистых поверхностных слоев и многокомпонентных покрытий. Процесс реализуется в условиях совмещенной последовательно-одновременной работы газового плазмогенератора с накаливаемым катодом, дуомагнетрона с двумя распыляемыми мишенями и двумя электродуговыми испарителями. Расширение функциональных возможностей обеспечивается применением оригинальных многоэлементных и многофазных катодных мишеней в виде соединений по типу боридов, карбидов, силицидов, сульфидов металлов, изготавливаемых СВС-методом с одновременным компактированием. Изменение состава, структуры и физико-механических свойств по сечению градиентно-слоистых поверхностных слоев и покрытий обеспечивается целенаправленным изменением очередности распыляемых катодных мишеней плазменных источников, соотношением интенсивностей плазменных рабочих потоков и варьированием энергии прибывающих на подложку частиц, определяемой значением ускоряющего потенциала на подложке.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Сибирский физико-технический институт | Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2011. Т. 54, № 7. С. 26-34
Language: rus

Created: 22-05-2024

342 Visitors

284 Hits

66 Downloads

Сибирский физико-технический институт

Журналы ТГУ Физико-технологические основы создания градиентно-слоистых поверхностей многокомпонентного состава совмещением методов ионно-диффузионного насыщения, магнетронного и вакуумно-дугового осаждения